La piastra SiC è un tipo di ceramica a corpo denso con porosità 0, basata su SiC e sinterizzata a 2250 ℃.Il contenuto di SiC è superiore al 99,6%, la resistenza alla flessione è superiore a 410 mpa e la conduttività termica è di 140 W/MK, è l'unico materiale ceramico resistente a HF, H2SO4 e altra forte corrosione acida.
Vantaggi della ceramica al carburo di silicio:
1, il coefficiente di dilatazione termica è piccolo, molto vicino al silicio;
2, ottima resistenza all'usura, durezza seconda solo al diamante;
3, eccellente conduttività termica, resistenza alle alte temperature e rapida dissipazione del calore;