Semiconduttori:
L’industria dei semiconduttori segue la legge industriale di “una generazione di tecnologia, una generazione di processi e una generazione di apparecchiature” e l’aggiornamento e l’iterazione delle apparecchiature a semiconduttore dipendono in gran parte dalla svolta tecnologica delle parti di precisione. Tra questi, le parti in ceramica di precisione sono i materiali per parti di precisione dei semiconduttori più rappresentativi, che hanno importanti applicazioni in una serie di importanti collegamenti di produzione di semiconduttori come la deposizione di vapore chimico, la deposizione fisica di vapore, l'impianto di ioni e l'attacco. Come cuscinetti, binari di guida, rivestimenti, mandrini elettrostatici, bracci di movimentazione meccanica, ecc. Soprattutto all'interno della cavità dell'apparecchiatura, svolge il ruolo di supporto, protezione e deviazione.
Dal 2023, anche i Paesi Bassi e il Giappone hanno successivamente emanato nuove normative o decreti sul commercio estero sul controllo, aggiungendo norme sulle licenze di esportazione per apparecchiature a semiconduttori, comprese le macchine litografiche, ed è gradualmente emersa la tendenza all'anti-globalizzazione dei semiconduttori. L’importanza del controllo indipendente della catena di fornitura è diventata sempre più importante. Di fronte alla domanda di localizzazione di parti di apparecchiature per semiconduttori, le aziende nazionali stanno promuovendo attivamente lo sviluppo industriale. Zhongci Electronics ha realizzato la localizzazione di parti di precisione ad alta tecnologia come piastre riscaldanti e mandrini elettrostatici, risolvendo il problema del “collo di bottiglia” del settore delle apparecchiature domestiche per semiconduttori; Dezhi New Materials, uno dei principali fornitori nazionali di basi in grafite rivestite in SiC e anelli di incisione in SiC, ha completato con successo un finanziamento di 100 milioni di yuan, ecc…..
Substrati ceramici in nitruro di silicio ad alta conduttività:
I substrati ceramici in nitruro di silicio vengono utilizzati principalmente nelle unità di potenza, nei dispositivi a semiconduttore e negli inverter dei veicoli elettrici puri (EV) e dei veicoli elettrici ibridi (HEV) e hanno un enorme potenziale di mercato e prospettive di applicazione.
Attualmente, i materiali del substrato ceramico in nitruro di silicio ad alta conduttività termica per applicazioni commerciali richiedono conduttività termica ≥85 W/(m·K), resistenza alla flessione ≥650MPa e resistenza alla frattura 5~7MPa·m1/2. Le aziende che hanno veramente la capacità di produrre in serie substrati ceramici in nitruro di silicio ad alta conduttività termica sono principalmente Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa e Japan Fine Ceramics.
Anche la ricerca nazionale sui materiali di substrato ceramico in nitruro di silicio ha fatto alcuni progressi. La conduttività termica del substrato ceramico di nitruro di silicio preparato mediante il processo di colata su nastro della filiale di Pechino di Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. è 100 W/(m·K); Il Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. ha preparato con successo un substrato ceramico in nitruro di silicio con una resistenza alla flessione di 700-800 MPa, una tenacità alla frattura ≥ 8 MPa·m1/2 e una conduttività termica ≥ 80 W/(m·K) ottimizzando il metodo e il processo di sinterizzazione.
Orario di pubblicazione: 29 ottobre 2024