I film sottili utilizzati nella produzione di semiconduttori sono tutti dotati di resistenza e la resistenza del film ha un impatto diretto sulle prestazioni del dispositivo. Solitamente non misuriamo la resistenza assoluta del film, ma utilizziamo la resistenza del foglio per caratterizzarlo.
Cosa sono la resistenza del foglio e la resistività del volume?
La resistività di volume, nota anche come resistività di volume, è una proprietà intrinseca di un materiale che caratterizza quanto il materiale impedisce il flusso di corrente elettrica. Il simbolo comunemente usato ρ rappresenta l'unità Ω.
Resistenza allo strato, conosciuta anche come resistenza allo strato, il nome inglese è resistenza allo strato, che si riferisce al valore di resistenza del film per unità di area. Simboli comunemente usati Rs o ρs per esprimere, l'unità è Ω/sq o Ω/□
La relazione tra i due è: resistenza del foglio = resistività del volume/spessore del film, ovvero Rs =ρ/t
Perché misurare la resistenza della lamiera?
Misurare la resistenza assoluta di una pellicola richiede una conoscenza precisa delle dimensioni geometriche della pellicola (lunghezza, larghezza, spessore), che presenta molte variabili ed è molto complessa per pellicole molto sottili o di forma irregolare. La resistenza del foglio è correlata solo allo spessore del film e può essere testata rapidamente e direttamente senza complicati calcoli dimensionali.
Quali film devono misurare la resistenza del foglio?
In generale, è necessario misurare la resistenza quadrata delle pellicole conduttrici e dei semiconduttori, mentre non è necessario misurare le pellicole isolanti.
Nel drogaggio dei semiconduttori viene misurata anche la resistenza del foglio di silicio.
Come misurare la resistenza quadrata?
Nell'industria viene generalmente utilizzato il metodo a quattro sonde. Il metodo a quattro sonde può misurare una resistenza quadrata compresa tra 1E-3 e 1E+9Ω/sq. Il metodo a quattro sonde può evitare errori di misurazione dovuti alla resistenza di contatto tra la sonda e il campione.
Metodi di misurazione:
1) Posizionare quattro sonde disposte linearmente sulla superficie del campione.
2) Applicare una corrente costante tra le due sonde esterne.
3) Determinare la resistenza misurando la differenza di potenziale tra le due sonde interne
RS: resistenza del foglio
ΔV: Variazione di tensione misurata tra le sonde interne
I : Corrente applicata tra le sonde esterne
Orario di pubblicazione: 29 marzo 2024