Nelle apparecchiature di incisione al plasma, i componenti ceramici svolgono un ruolo cruciale, compreso l'anello di messa a fuoco. L'anello di messa a fuoco, posizionato attorno al wafer e a diretto contatto con esso, è essenziale per focalizzare il plasma sul wafer applicando tensione all'anello. Ciò migliora l'un...
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