Introduzione del supporto per wafer
CATEGORIA DEL PRODOTTO
▶Sistema portawafer per processi PECVD e TALOX
• Barca in grafite PECVD e TALOX (M4~M12)
• Barca SM verticale (M4, M6)
• Parte in grafite per impianto e doccia (M4~M6)
• Vassoio C/C e rivestimento in ceramica
• Vassoio RIE in metallo e rivestimento in ceramica
• Sigillatura sottovuoto: O-Ring e SQ-Ring
▶Processo di trasferimento di texturizzazione e incisione a umido
• Supporto H LSC o cassetta (M4~M12)
• V-Carrier o cassetta LSC (M4~M12)
• Carrello ASC o cassetta (M4, M6)
• Portaoggetti e scatola portaoggetti W/F (M4~M12)
• Serie di ruote di trasporto (rulli).
▶Supporto per celle solari e supporto in metallo
• Carrello o cassetta TRC (M4~M12)
• Caricatore (con CINTURA)
BARCA IN GRAFITE (tipo H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
BARCA IN GRAFITE (tipo H)
21P6-240CTWF M4~M12)
BARCA IN GRAFITE (tipo H)
23P7-308CT(S/F M4~M12)
BARCA IN GRAFITE (tipo H)
22P/7-294TP (S/F M4~M12)
BARCA IN GRAFITE (tipo H)
W182-22P7-294CT (S/F M12)
W182-21P6-240CT (S/F M12)
SUPPORTO WF E SCATOLA DI STOCCAGGIO (~M12)
VASSOIO C/C o SUPPORTO (M4~M10)
VASSOIO C/C o SUPPORTO (M4~M10)
BARCA VERTICALE (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
PORTAENTE ASC (~M6)
PORTATORE TRC(~M12)
PORTATORE TRC(~M12)
BARCA IN GRAFITE(M12)
Sistema portawafer per processo PECVD
▶ BARCA IN GRAFITE (progettata da CT) Processo M10/M12
• CONCETTO DI DESIGN SPECIALE
▶ BARCA IN GRAFITE (progettata da CT) Processo M4/M6
▶ Parti accessorie per BARCA
▶ BARCA VERTICALE-WAFER da 161,7 mm
▶ BARCA VERTICALE-WAFER da 166 mm
▶ BARCA VERTICALE: WAFER da 161,7 mm, 166 mm
Supporto per celle solari e supporto TRC in metallo
TIPOLOGIA: Automazione
DIMENSIONE WAFER: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
UTILIZZO: trasporto (cassetta)
CAPACITÀ: 100 fogli
PASSO: 4,76 MM/5,953 mm/6,35 mm
DIMENSIONE: circa 559×220×220MM
Circa 712×260×260MM
VANTAGGIO: atmosfera
MATERIALE: FIAMMA, BARRA LATERALE-Alluminio (anodizzazione)
PIASTRA LATERALE-POM (Antistatico)
Copertura della barra inferiore-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-PORTANTE IN METALLO (LINEA U'SER)
TRC-PORTANTE IN METALLO (LINEA U'SER)
TRC-PORTANTE IN METALLO (LINEA U'SER)
PIATTO DOCCIA E IMPIANTO, SUPPORTO
