Di SemiceraSubstrato in alluminio M-plane non polare da 10x10 mmè meticolosamente progettato per soddisfare i rigorosi requisiti delle applicazioni optoelettroniche avanzate. Questo substrato presenta un orientamento del piano M non polare, che è fondamentale per ridurre gli effetti di polarizzazione in dispositivi come LED e diodi laser, portando a prestazioni ed efficienza migliorate.
ILSubstrato in alluminio M-plane non polare da 10x10 mmè realizzato con un'eccezionale qualità cristallina, garantendo densità di difetti minime e integrità strutturale superiore. Ciò lo rende la scelta ideale per la crescita epitassiale di film di nitruro III di alta qualità, essenziali per lo sviluppo di dispositivi optoelettronici di prossima generazione.
L'ingegneria di precisione di Semicera garantisce che ciascunoSubstrato in alluminio M-plane non polare da 10x10 mmoffre spessore costante e planarità della superficie, fondamentali per la deposizione uniforme della pellicola e la fabbricazione del dispositivo. Inoltre, le dimensioni compatte del substrato lo rendono adatto sia per ambienti di ricerca che di produzione, consentendo un utilizzo flessibile in una varietà di applicazioni. Grazie alla sua eccellente stabilità termica e chimica, questo substrato fornisce una base affidabile per lo sviluppo di tecnologie optoelettroniche all'avanguardia.
| Elementi | Produzione | Ricerca | Manichino |
| Parametri di cristallo | |||
| Politipo | 4H | ||
| Errore di orientamento della superficie | <11-20 >4±0,15° | ||
| Parametri Elettrici | |||
| Dopante | Azoto di tipo n | ||
| Resistività | 0,015-0,025ohm·cm | ||
| Parametri meccanici | |||
| Diametro | 150,0±0,2 mm | ||
| Spessore | 350±25μm | ||
| Orientamento piatto primario | [1-100]±5° | ||
| Lunghezza piatta primaria | 47,5±1,5 mm | ||
| Appartamento secondario | Nessuno | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm |
| LTV | ≤3μm(5mm*5mm) | ≤5μm(5mm*5mm) | ≤10μm(5mm*5mm) |
| Arco | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Ordito | ≤35μm | ≤45μm | ≤55μm |
| Rugosità anteriore (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
| Struttura | |||
| Densità del microtubo | <1 pezzo/cm2 | <10 pezzi/cm2 | <15 pezzi/cm2 |
| Impurità metalliche | ≤5E10atomi/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ciascuno/cm2 | ≤3000 ciascuno/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ciascuno/cm2 | ≤1000 ciascuno/cm2 | NA |
| Qualità frontale | |||
| Fronte | Si | ||
| Finitura superficiale | Si-face CMP | ||
| Particelle | ≤60 pezzi/wafer (dimensione≥0,3μm) | NA | |
| Graffi | ≤5 pezzi/mm. Lunghezza cumulativa ≤Diametro | Lunghezza cumulativa ≤2*Diametro | NA |
| Buccia d'arancia/noccioli/macchie/striature/crepe/contaminazione | Nessuno | NA | |
| Scheggiature/rientranze/fratture/piastre esagonali sui bordi | Nessuno | ||
| Aree di politipo | Nessuno | Area cumulativa ≤ 20% | Area cumulativa ≤ 30% |
| Marcatura laser frontale | Nessuno | ||
| Indietro Qualità | |||
| Finitura posteriore | CMP faccia C | ||
| Graffi | ≤5ea/mm,Lunghezza cumulativa≤2*Diametro | NA | |
| Difetti sul retro (scheggiature/rientranze sui bordi) | Nessuno | ||
| Rugosità della schiena | Ra≤0,2 nm (5μm*5μm) | ||
| Marcatura laser sul retro | 1 mm (dal bordo superiore) | ||
| Bordo | |||
| Bordo | Smussare | ||
| Confezione | |||
| Confezione | Epi-ready con confezionamento sottovuoto Confezione in cassetta multi-wafer | ||
| *Note: "NA" significa nessuna richiesta. Gli articoli non menzionati possono fare riferimento a SEMI-STD. | |||
