Struttura del cilindro con rivestimento in SiC per suscettore del cilindro

Breve descrizione:

Semicera offre una gamma completa di suscettori e componenti in grafite progettati per vari reattori epitassia.

Attraverso partnership strategiche con OEM leader del settore, vasta esperienza nei materiali e capacità di produzione avanzate, Semicera offre progetti su misura per soddisfare i requisiti specifici della vostra applicazione. Il nostro impegno per l'eccellenza garantisce che riceviate soluzioni ottimali per le vostre esigenze di reattori epitassia.

 


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La nostra azienda fornisceRivestimento SiCservizi di processo sulla superficie di grafite, ceramica e altri materiali mediante metodo CVD, in modo che gas speciali contenenti carbonio e silicio possano reagire ad alta temperatura per ottenere molecole di Sic di elevata purezza, che possono essere depositate sulla superficie dei materiali rivestiti per formare unStrato protettivo in SiCper epitassia di tipo ipnotico a botte.

 

Caratteristiche principali:

1. Grafite rivestita in SiC ad alta purezza

2. Resistenza al calore e uniformità termica superiori

3. BeneRivestimento in cristallo SiCper una superficie liscia

4. Elevata resistenza alla pulizia chimica

 
Parti epitassiali 硅外延2-Si

 Specifiche principali diRivestimento CVD-SIC

Proprietà SiC-CVD

Struttura cristallina Fase β dell'FCC
Densità g/cm³ 3.21
Durezza Durezza Vickers 2500
Granulometria µm 2~10
Purezza chimica % 99.99995
Capacità termica J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura di sublimazione 2700
Forza flessionale MPa (RT 4 punti) 415
Modulo di Young Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃) 430
Dilatazione Termica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conduttività termica (W/mK) 300
2--cvd-sic-purezza---99-99995-_60366
5----sic-crystal_242127
Luogo di lavoro Semicera
Luogo di lavoro Semicera 2
Macchina per attrezzature
Lavorazione CNN, pulizia chimica, rivestimento CVD
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