Substrato 4H-SiC di tipo P fuori angolo da 2~6 pollici a 4°

Breve descrizione:

‌Substrato 4H-SiC di tipo P con angolo fuori angolo di 4°‌ è un materiale semiconduttore specifico, dove "4° fuori angolo" si riferisce all'angolo di orientamento del cristallo del wafer che è di 4 gradi fuori angolo e "tipo P" si riferisce a il tipo di conduttività del semiconduttore. Questo materiale ha importanti applicazioni nell'industria dei semiconduttori, in particolare nei campi dell'elettronica di potenza e dell'elettronica ad alta frequenza.


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I substrati 4H-SiC di tipo P con angolo fuori angolo di 4° da 2~6 pollici di Semicera sono progettati per soddisfare le crescenti esigenze dei produttori di dispositivi RF e di potenza ad alte prestazioni. L'orientamento fuori angolo di 4° garantisce una crescita epitassiale ottimizzata, rendendo questo substrato una base ideale per una gamma di dispositivi a semiconduttore, inclusi MOSFET, IGBT e diodi.

Questo substrato 4H-SiC di tipo P da 2~6 pollici e 4° fuori angolo presenta eccellenti proprietà del materiale, tra cui elevata conduttività termica, eccellenti prestazioni elettriche e straordinaria stabilità meccanica. L'orientamento fuori angolo aiuta a ridurre la densità del microtubo e promuove strati epitassiali più lisci, il che è fondamentale per migliorare le prestazioni e l'affidabilità del dispositivo semiconduttore finale.

I substrati 4H-SiC di tipo P fuori angolo da 2~6 pollici 4° di Semicera sono disponibili in una varietà di diametri, che vanno da 2 pollici a 6 pollici, per soddisfare le diverse esigenze di produzione. I nostri substrati sono progettati con precisione per fornire livelli di drogaggio uniformi e caratteristiche superficiali di alta qualità, garantendo che ciascun wafer soddisfi le rigorose specifiche richieste per le applicazioni elettroniche avanzate.

L'impegno di Semicera per l'innovazione e la qualità garantisce che i nostri substrati 4H-SiC di tipo P fuori angolo da 2~6 pollici e 4° offrano prestazioni costanti in un'ampia gamma di applicazioni, dall'elettronica di potenza ai dispositivi ad alta frequenza. Questo prodotto fornisce una soluzione affidabile per la prossima generazione di semiconduttori ad alta efficienza energetica e ad alte prestazioni, supportando i progressi tecnologici in settori quali quello automobilistico, delle telecomunicazioni e delle energie rinnovabili.

Standard relativi alle dimensioni

Misurare

2 pollici

4 pollici

Diametro 50,8 mm±0,38 mm 100,0 mm+0/-0,5 mm
Orientamento della superficie 4°verso<11-20>±0,5° 4°verso<11-20>±0,5°
Lunghezza piatta primaria 16,0 mm±1,5 mm 32,5 mm±2 mm
Lunghezza piatta secondaria 8,0 mm±1,5 mm 18,0 mm±2 mm
Orientamento piatto primario Parallelo <11-20>±5.0° Parallelo<11-20>±5.0c
Orientamento piatto secondario 90°CW dal primario ± 5,0°, silicone rivolto verso l'alto 90°CW dal primario ± 5,0°, silicone rivolto verso l'alto
Finitura superficiale Faccia C: lucidatura ottica, faccia Si: CMP Faccia C: lucidatura ottica, faccia Si: CMP
Bordo del wafer Smussatura Smussatura
Rugosità superficiale Si-faccia Ra<0,2 nm Si-faccia Ra<0,2 nm
Spessore 350,0±25,0um 350,0±25,0um
Politipo 4H 4H
Doping Tipo p Tipo p

Standard relativi alle dimensioni

Misurare

6 pollici
Diametro 150,0 mm+0/-0,2 mm
Orientamento della superficie 4°verso<11-20>±0,5°
Lunghezza piatta primaria 47,5 mm ± 1,5 mm
Lunghezza piatta secondaria Nessuno
Orientamento piatto primario Parallelo a <11-20>±5,0°
Orientamento secondario piatto 90°CW dal primario ± 5,0°, silicio rivolto verso l'alto
Finitura superficiale Faccia C: lucidatura ottica, faccia Si: CMP
Bordo del wafer Smussatura
Rugosità superficiale Si-faccia Ra<0,2 nm
Spessore 350,0±25,0μm
Politipo 4H
Doping Tipo p

Ramann

Substrato 4H-SiC di tipo P fuori angolo da 2-6 pollici a 4°-3

Curva a dondolo

Substrato 4H-SiC di tipo P fuori angolo da 2-6 pollici a 4°

Densità di dislocazione (attacco KOH)

Substrato 4H-SiC di tipo P fuori angolo da 2-6 pollici a 4°-5

Immagini incise da KOH

Substrato 4H-SiC di tipo P fuori angolo da 2-6 pollici a 4°-6
Wafer SiC

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