carburo di silicio Effettore ceramico per il trasferimento di wafer in vari processi di semiconduttori

Breve descrizione:

Il braccio meccanico in carburo di silicio è formato mediante processo di pressatura isostatica e sinterizzato ad alta temperatura.In base ai requisiti dei disegni di progetto dell'utente, le dimensioni del contorno, le dimensioni dello spessore e la forma possono essere perfezionate per soddisfare le esigenze specifiche degli utenti.


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Caratteristiche e vantaggi

1. Dimensioni precise e stabilità termica

2. Elevata rigidità specifica ed eccellente uniformità termica, l'uso a lungo termine non è facile da piegare la deformazione;

3. Ha una superficie liscia e una buona resistenza all'usura, gestendo così in sicurezza il chip senza contaminazione da particelle.

4. Resistività del carburo di silicio in 106-108Ω, non magnetico, in linea con i requisiti delle specifiche anti-ESD;Può prevenire l'accumulo di elettricità statica sulla superficie del chip

5.Buona conduttività termica, basso coefficiente di dilatazione.

Effettore del braccio robotico
Effettore finale SiC
Confronto tra materiali ceramici SIC
ADFvZCVXCD

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