Elemento portante/suscettore SiC ad elevata purezza

Immagine in evidenza del trasportatore/suscettore SiC ad elevata purezza

Breve descrizione:

Il disco con cuscinetto in carburo di silicio è noto anche come vassoio SIC, disco per incisione in carburo di silicio, disco per incisione ICP. Il vassoio in carburo di silicio per l'incisione LED (vassoio SiC) φ600mm è un accessorio speciale per l'incisione profonda del silicio (macchina per incisione ICP).

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Dettagli del prodotto

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Descrizione

La ceramica al carburo di silicio ha eccellenti proprietà meccaniche a temperatura ambiente, come elevata resistenza, elevata durezza, elevato modulo elastico, ecc., Ha anche un'eccellente stabilità alle alte temperature come elevata conduttività termica, basso coefficiente di dilatazione termica e buona rigidità specifica e buona rigidità ottica prestazioni di elaborazione.
Sono particolarmente adatti per la produzione di parti ceramiche di precisione per apparecchiature a circuito integrato come macchine litografiche, utilizzate principalmente per produrre il supporto/suscettore SiC, la barca wafer SiC, il disco aspirante, la piastra di raffreddamento ad acqua, il riflettore di misurazione di precisione, la griglia e altre parti strutturali in ceramica

corriere2

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Vantaggi

Resistenza alle alte temperature: uso normale a 1800 ℃
Elevata conduttività termica: equivalente al materiale di grafite
Elevata durezza: durezza seconda solo al diamante e al nitruro di boro
Resistenza alla corrosione: gli acidi forti e gli alcali non subiscono corrosione, la resistenza alla corrosione è migliore del carburo di tungsteno e dell'allumina
Peso leggero: bassa densità, vicino all'alluminio
Nessuna deformazione: basso coefficiente di dilatazione termica
Resistenza agli shock termici: può sopportare bruschi sbalzi di temperatura, resistere agli shock termici e ha prestazioni stabili
I supporti in carburo di silicio come il supporto per incisione sic, il suscettore per incisione ICP, sono ampiamente utilizzati nella CVD dei semiconduttori, nello sputtering sotto vuoto ecc. Possiamo fornire ai clienti supporti per wafer personalizzati di materiali in silicio e carburo di silicio per soddisfare diverse applicazioni.

Vantaggi

Proprietà	Valore	Metodo
Densità	3,21 g/cc	Galleggiante e dimensioni
Calore specifico	0,66 J/g°K	Flash laser pulsato
Resistenza alla flessione	450 MPa560 MPa	Curva a 4 punti, curva RT4 punti, 1300°
Resistenza alla frattura	2,94MPa·m1/2	Microindentazione
Durezza	2800	Vicker's, carico da 500 g
Modulo elastico Modulo di Young	450 GPa430 GPa	Curvatura 4 pt, curvatura RT4 pt, 1300 °C
Dimensione del grano	2 – 10 µm	SEM

Profilo Aziendale

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. è un fornitore leader di ceramica semiconduttrice avanzata e l'unico produttore in Cina in grado di fornire contemporaneamente ceramica in carburo di silicio di elevata purezza (in particolare SiC ricristallizzato) e rivestimento SiC CVD. Inoltre, la nostra azienda è impegnata anche in campi ceramici come allumina, nitruro di alluminio, zirconio e nitruro di silicio, ecc.

I nostri prodotti principali tra cui: disco per incisione in carburo di silicio, traino per barche in carburo di silicio, barca per wafer in carburo di silicio (fotovoltaico e semiconduttore), tubo del forno in carburo di silicio, pala a sbalzo in carburo di silicio, mandrini in carburo di silicio, trave in carburo di silicio, nonché rivestimento CVD SiC e TaC rivestimento. I prodotti utilizzati principalmente nelle industrie dei semiconduttori e fotovoltaiche, come apparecchiature per la crescita dei cristalli, epitassia, incisione, imballaggio, forni di rivestimento e diffusione, ecc.
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