Semicera ad elevata purezzaPala in carburo di silicioè meticolosamente progettato per soddisfare le rigorose esigenze dei moderni processi di produzione dei semiconduttori. QuestoPagaia a sbalzo SiCeccelle in ambienti ad alta temperatura, offrendo stabilità termica e durata meccanica senza precedenti. La struttura cantilever SiC è costruita per resistere a condizioni estreme, garantendo una gestione affidabile dei wafer durante vari processi.
Una delle innovazioni chiave delPaletta SiCè il suo design leggero ma robusto, che consente una facile integrazione nei sistemi esistenti. La sua elevata conduttività termica aiuta a mantenere la stabilità del wafer durante le fasi critiche come l'attacco e la deposizione, riducendo al minimo il rischio di danni al wafer e garantendo rese di produzione più elevate. L'uso di carburo di silicio ad alta densità nella costruzione della paletta ne migliora la resistenza all'usura, garantendo una maggiore durata operativa e riducendo la necessità di frequenti sostituzioni.
Semicera pone una forte enfasi sull'innovazione, offrendo aPagaia a sbalzo SiCche non solo soddisfa ma supera gli standard del settore. Questa paletta è ottimizzata per l'uso in varie applicazioni di semiconduttori, dalla deposizione all'attacco, dove precisione e affidabilità sono cruciali. Integrando questa tecnologia all'avanguardia, i produttori possono aspettarsi una migliore efficienza, costi di manutenzione ridotti e una qualità del prodotto costante.
Proprietà fisiche del carburo di silicio ricristallizzato | |
Proprietà | Valore tipico |
Temperatura di lavoro (°C) | 1600°C (con ossigeno), 1700°C (ambiente riducente) |
Contenuto di SiC | > 99,96% |
Contenuti Si gratuiti | <0,1% |
Densità apparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosità apparente | < 16% |
Resistenza alla compressione | > 600MPa |
Resistenza alla flessione a freddo | 80-90MPa (20°C) |
Resistenza alla flessione a caldo | 90-100MPa (1400°C) |
Dilatazione termica @1500°C | 4,7010-6/°C |
Conduttività termica @1200°C | 23 W/m·K |
Modulo elastico | 240 GPa |
Resistenza agli shock termici | Estremamente buono |