Barca isostatica in grafite PECVD

Immagine in evidenza della barca in grafite isostatica PECVD

Breve descrizione:

La barca in grafite isostatica PECVD è ampiamente utilizzata in vari collegamenti della produzione di semiconduttori, come la deposizione di film di polisilicio, la deposizione di film di ossido, la deposizione di film di nitruro, ecc. Le sue eccellenti prestazioni lo rendono un supporto wafer ideale nel processo PECVD.

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La barca isostatica in grafite PECVD SEMICERA è un prodotto in grafite ad alta purezza e alta densità progettato per il supporto di wafer nel processo PECVD (deposizione chimica in fase vapore potenziata dal plasma). SEMICERA utilizza una tecnologia avanzata di pressatura isostatica per garantire che la barca in grafite abbia un'eccellente resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione, stabilità dimensionale e buona conduttività termica, che è un materiale di consumo indispensabile nel processo di produzione dei semiconduttori.

La barca isostatica in grafite PECVD SEMICERA presenta i seguenti vantaggi:

▪ Elevata purezza: il materiale di grafite è di elevata purezza e basso contenuto di impurità per evitare la contaminazione della superficie del wafer.

▪ Alta densità: alta densità, elevata resistenza meccanica, può resistere ad alte temperature e ambienti ad alto vuoto.

▪ Buona stabilità dimensionale: piccola variazione dimensionale ad alta temperatura per garantire la stabilità del processo.

▪ Eccellente conduttività termica: trasferisce efficacemente il calore per evitare il surriscaldamento del wafer.

▪ Forte resistenza alla corrosione: in grado di resistere all'erosione causata da vari gas corrosivi e plasma.

Parametro di prestazione	semicera	SGL R6510	Parametro di prestazione
Densità apparente (g/cm3)	1.91	1.83	1,85
Resistenza alla flessione (MPa)	63	60	49
Resistenza alla compressione (MPa)	135	130	103
Durezza Shore (HS)	70	64	60
Coefficiente di dilatazione termica (10-6/K)	85	105	130
Coefficiente di dilatazione termica (10-6/K)	5,85	4.2	5.0
Resistività (μΩm)	11-13	13	10

I vantaggi di sceglierci:
▪ Selezione dei materiali: vengono utilizzati materiali di grafite di elevata purezza per garantire la qualità del prodotto.
▪ Tecnologia di lavorazione: viene utilizzata la pressatura isostatica per garantire la densità e l'uniformità del prodotto.
▪ Personalizzazione delle dimensioni: le barche in grafite di diverse dimensioni e forme possono essere personalizzate in base alle esigenze del cliente.
▪ Trattamento superficiale: vengono forniti diversi metodi di trattamento superficiale, come rivestimento in carburo di silicio, nitruro di boro, ecc., per soddisfare i diversi requisiti di processo.