Cassetta per semiconduttori

Breve descrizione:

Cassetta per semiconduttori– Proteggi e trasporta i tuoi wafer con precisione utilizzando la cassetta per semiconduttori di Semicera, progettata per garantire sicurezza ed efficienza ottimali negli ambienti di produzione ad alta tecnologia.


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Semiceraintroduce ilCassetta per semiconduttori, uno strumento essenziale per la gestione sicura ed efficiente dei wafer durante l'intero processo di produzione dei semiconduttori. Progettata con alta precisione, questa cassetta garantisce che i tuoi wafer siano conservati e trasportati in modo sicuro, mantenendo la loro integrità in ogni fase.

Protezione e durata superioriILCassetta per semiconduttoridi Semicera è costruito per offrire la massima protezione ai tuoi wafer. Realizzato con materiali robusti e resistenti alla contaminazione, protegge i wafer da potenziali danni e contaminazioni, rendendolo la scelta ideale per gli ambienti delle camere bianche. Il design della cassetta riduce al minimo la generazione di particelle e garantisce che i wafer rimangano intatti e sicuri durante la movimentazione e il trasporto.

Design migliorato per prestazioni ottimaliDi SemiceraCassetta per semiconduttoripresenta un design meticolosamente progettato che fornisce un allineamento preciso del wafer, riducendo il rischio di disallineamento e danni meccanici. Gli slot della cassetta sono perfettamente distanziati per tenere saldamente ciascun wafer, impedendo qualsiasi movimento che potrebbe causare graffi o altre imperfezioni.

Versatilità e compatibilitàILCassetta per semiconduttoriè versatile e compatibile con varie dimensioni di wafer, rendendolo adatto a diverse fasi di fabbricazione dei semiconduttori. Sia che lavoriate con dimensioni di wafer standard o personalizzate, questa cassetta si adatta alle vostre esigenze, offrendo flessibilità nei vostri processi di produzione.

Gestione semplificata ed efficienzaProgettato pensando all'utente, ilCassetta per semiconduttori Semiceraè leggero e facile da maneggiare, consentendo operazioni di carico e scarico rapide ed efficienti. Questo design ergonomico non solo fa risparmiare tempo ma riduce anche il rischio di errore umano, garantendo operazioni fluide all'interno della vostra struttura.

Conformità agli standard del settoreSemicera garantisce che ilCassetta per semiconduttorisoddisfa i più elevati standard di settore in termini di qualità e affidabilità. Ogni cassetta viene sottoposta a test rigorosi per garantire che funzioni in modo coerente nelle difficili condizioni della produzione di semiconduttori. Questa dedizione alla qualità garantisce che i tuoi wafer siano sempre protetti, mantenendo gli elevati standard richiesti nel settore.

Elementi

Produzione

Ricerca

Manichino

Parametri di cristallo

Politipo

4H

Errore di orientamento della superficie

<11-20 >4±0,15°

Parametri Elettrici

Dopante

Azoto di tipo n

Resistività

0,015-0,025ohm·cm

Parametri meccanici

Diametro

150,0±0,2 mm

Spessore

350±25μm

Orientamento piatto primario

[1-100]±5°

Lunghezza piatta primaria

47,5±1,5 mm

Appartamento secondario

Nessuno

TTV

≤5μm

≤10μm

≤15μm

LTV

≤3μm(5mm*5mm)

≤5μm(5mm*5mm)

≤10μm(5mm*5mm)

Arco

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Ordito

≤35μm

≤45μm

≤55μm

Rugosità anteriore (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2 nm (5μm*5μm)

Struttura

Densità del microtubo

<1 pezzo/cm2

<10 pezzi/cm2

<15 pezzi/cm2

Impurità metalliche

≤5E10atomi/cm2

NA

BPD

≤1500 ciascuno/cm2

≤3000 ciascuno/cm2

NA

TSD

≤500 ciascuno/cm2

≤1000 ciascuno/cm2

NA

Qualità frontale

Fronte

Si

Finitura superficiale

Si-face CMP

Particelle

≤60 pezzi/wafer (dimensione≥0,3μm)

NA

Graffi

≤5 pezzi/mm. Lunghezza cumulativa ≤Diametro

Lunghezza cumulativa ≤2*Diametro

NA

Buccia d'arancia/noccioli/macchie/striature/crepe/contaminazione

Nessuno

NA

Scheggiature/rientranze/fratture/piastre esagonali sui bordi

Nessuno

Aree di politipo

Nessuno

Area cumulativa ≤ 20%

Area cumulativa ≤ 30%

Marcatura laser frontale

Nessuno

Indietro Qualità

Finitura posteriore

CMP faccia C

Graffi

≤5ea/mm, lunghezza cumulativa≤2*Diametro

NA

Difetti sul retro (scheggiature/rientranze sui bordi)

Nessuno

Rugosità della schiena

Ra≤0,2 nm (5μm*5μm)

Marcatura laser sul retro

1 mm (dal bordo superiore)

Bordo

Bordo

Smussare

Confezione

Confezione

Epi-ready con confezionamento sottovuoto

Confezione in cassetta multi-wafer

*Note: "NA" significa nessuna richiesta. Gli articoli non menzionati possono fare riferimento a SEMI-STD.

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Wafer SiC

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