Substrati di carburo di silicio | Wafer SiC

Substrati in carburo di silicio|Immagine in evidenza wafer SiC

Breve descrizione:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. è un fornitore leader specializzato in wafer e materiali di consumo per semiconduttori avanzati. Ci impegniamo a fornire prodotti di alta qualità, affidabili e innovativi alla produzione di semiconduttori, all'industria fotovoltaica e ad altri campi correlati.

La nostra linea di prodotti comprende prodotti in grafite rivestita SiC/TaC e prodotti ceramici, che comprendono vari materiali come carburo di silicio, nitruro di silicio e ossido di alluminio ecc.

Al momento, siamo l'unico produttore a fornire rivestimento SiC con purezza 99,9999% e carburo di silicio ricristallizzato al 99,9%. La lunghezza massima del rivestimento SiC che possiamo realizzare è 2640 mm.

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Il materiale monocristallino in carburo di silicio (SiC) ha un'ampia larghezza di banda proibita (~Si 3 volte), elevata conduttività termica (~Si 3,3 volte o GaAs 10 volte), elevata velocità di migrazione della saturazione elettronica (~Si 2,5 volte), elevata degradazione elettrica campo (~Si 10 volte o GaAs 5 volte) e altre caratteristiche eccezionali.

I dispositivi SiC presentano vantaggi insostituibili nel campo dei dispositivi elettronici ad alta temperatura, alta pressione, alta frequenza e alta potenza e applicazioni ambientali estreme come aerospaziale, militare, energia nucleare, ecc., compensano i difetti dei tradizionali dispositivi in materiale semiconduttore in pratica applicazioni e stanno gradualmente diventando la corrente principale dei semiconduttori di potenza.

4H-SiC Specifiche del substrato in carburo di silicio

Articolo	Specifiche tecniche
Politipo 晶型	4H-SiC	6H-SiC
Diametro 晶圆直径	2 pollici \| 3 pollici \| 4 pollici \| 6 pollici	2 pollici \| 3 pollici \| 4 pollici \| 6 pollici
Spessore 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
Conduttività 导电类型	Tipo N / Semiisolante Nfoto/ foto di foto	Tipo N / Semiisolante Nfoto/ foto di foto
Dopante 掺杂剂	N2 (Azoto)V (Vanadio)	N2 (Azoto) V (Vanadio)
Orientamento 晶向	Sull'asse <0001> Fuori asse <0001> fuori 4°	Sull'asse <0001> Fuori asse <0001> fuori 4°
Resistività 电阻率	0,015 ~ 0,03 ohm-cm (4H-N)	0,02 ~ 0,1 ohm-cm (6H-N)
Densità del microtubo (MPD) 微管密度	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm	≤ 15 μm
Arco/Ordito 翘曲度	≤25μm	≤25μm
Superficie 表面处理	DSP/SSP	DSP/SSP
Grado 产品等级	Grado di produzione/ricerca	Grado di produzione/ricerca
Sequenza di impilamento dei cristalli 堆积方式	ABCB	ABCABC
Parametro reticolo 晶格参数	a=3.076A , c=10.053A	a=3.073A , c=15.117A
Eg/eV(gap di banda) 禁带宽度	3,27 eV	3,02 eV
ε(costante dielettrica) 介电常数	9.6	9.66
Indice di rifrazione 折射率	n0 =2,719 ne =2,777	n0 =2.707 , ne =2.755

Specifiche del substrato in carburo di silicio 6H-SiC

Articolo	Specifiche tecniche
Politipo 晶型	6H-SiC
Diametro 晶圆直径	4 pollici \| 6 pollici
Spessore 厚度	350μm~450μm
Conduttività 导电类型	Tipo N / Semiisolante Nfoto/ foto di foto
Dopante 掺杂剂	N2(azoto) V (Vanadio)
Orientamento 晶向	<0001> fuori 4°± 0,5°
Resistività 电阻率	0,02 ~ 0,1 ohm-cm (Tipo 6H-N)
Densità del microtubo (MPD) 微管密度	≤ 10/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm
Arco/Ordito 翘曲度	≤25μm
Superficie 表面处理	Si Face: CMP, Epi-Ready Faccia C: smalto ottico
Grado 产品等级	Grado di ricerca