Rivestito in TaCLa base in grafite LED ultravioletta profonda si riferisce al processo di miglioramento delle prestazioni e della stabilità del dispositivo depositando aRivestimento TaCsulla base di grafite durante la preparazione del dispositivo LED ultravioletto profondo. Questo rivestimento può migliorare le prestazioni di dissipazione del calore, la resistenza alle alte temperature e la resistenza all'ossidazione del dispositivo, migliorando così l'efficienza e l'affidabilità del dispositivo LED. I dispositivi LED a ultravioletti profondi vengono solitamente utilizzati in alcuni campi speciali, come la disinfezione, la fotopolimerizzazione, ecc., che hanno requisiti elevati per la stabilità e le prestazioni del dispositivo. L'applicazione diGrafite rivestita in TaCLa base può migliorare efficacemente la durata e le prestazioni del dispositivo, fornendo un importante supporto per lo sviluppo della tecnologia LED a raggi ultravioletti profondi.
Semicera fornisce rivestimenti specializzati in carburo di tantalio (TaC) per vari componenti e supporti.Il processo di rivestimento leader di Semicera consente ai rivestimenti in carburo di tantalio (TaC) di raggiungere elevata purezza, stabilità alle alte temperature ed elevata tolleranza chimica, migliorando la qualità del prodotto dei cristalli SIC/GAN e degli strati EPI (Suscettore TaC rivestito in grafite) e prolungare la vita dei componenti chiave del reattore. L'uso del rivestimento TaC in carburo di tantalio serve a risolvere il problema dei bordi e migliorare la qualità della crescita dei cristalli, e Semicera ha risolto in modo rivoluzionario la tecnologia di rivestimento in carburo di tantalio (CVD), raggiungendo il livello avanzato internazionale.
Dopo anni di sviluppo, Semicera ha conquistato la tecnologia delCVD TaCcon gli sforzi congiunti del dipartimento di ricerca e sviluppo. È facile che si verifichino difetti nel processo di crescita dei wafer SiC, ma dopo l'usoTaC, la differenza è significativa. Di seguito è riportato un confronto tra wafer con e senza TaC, nonché parti di Simicera per la crescita di cristalli singoli.
con e senza TaC
Dopo aver utilizzato TaC (a destra)
Inoltre, SemiceraProdotti rivestiti in TaCmostrano una durata di servizio più lunga e una maggiore resistenza alle alte temperature rispetto aRivestimenti SiC.Misure di laboratorio hanno dimostrato che il nsRivestimenti TaCpuò funzionare costantemente a temperature fino a 2300 gradi Celsius per periodi prolungati. Di seguito sono riportati alcuni esempi dei nostri campioni:
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Anello guida con rivestimento CVD in carburo di tantalio
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Crogiolo con rivestimento in carburo di tantalio
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Mezzaluna superiore rivestita in carburo di tantalio CVD
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Suscettore wafer rivestito in carburo di tantalio
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Anello in grafite rivestito in carburo di tantalio
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Piastra di supporto del piedistallo con rivestimento in carburo di tantalio