Supporti per wafer epitassiali rivestiti in TaCvengono solitamente utilizzati nella preparazione di dispositivi optoelettronici ad alte prestazioni, dispositivi di potenza, sensori e altri campi. Questosupporto per wafer epitassialesi riferisce alla deposizione diTaCfilm sottile sul substrato durante il processo di crescita dei cristalli per formare un wafer con struttura e prestazioni specifiche per la successiva preparazione del dispositivo.
Per la preparazione viene solitamente utilizzata la tecnologia di deposizione chimica in fase vapore (CVD).Supporti per wafer epitassiali rivestiti in TaC. Facendo reagire precursori metallo-organici e gas provenienti da fonti di carbonio ad alta temperatura, è possibile depositare un film di TaC sulla superficie del substrato cristallino. Questo film può avere eccellenti proprietà elettriche, ottiche e meccaniche ed è adatto per la preparazione di vari dispositivi ad alte prestazioni.
Semicera fornisce rivestimenti specializzati in carburo di tantalio (TaC) per vari componenti e supporti.Il processo di rivestimento leader di Semicera consente ai rivestimenti in carburo di tantalio (TaC) di raggiungere elevata purezza, stabilità alle alte temperature ed elevata tolleranza chimica, migliorando la qualità del prodotto dei cristalli SIC/GAN e degli strati EPI (Suscettore TaC rivestito in grafite) e prolungare la vita dei componenti chiave del reattore. L'uso del rivestimento TaC in carburo di tantalio serve a risolvere il problema dei bordi e migliorare la qualità della crescita dei cristalli, e Semicera ha risolto in modo rivoluzionario la tecnologia di rivestimento in carburo di tantalio (CVD), raggiungendo il livello avanzato internazionale.
Dopo anni di sviluppo, Semicera ha conquistato la tecnologia delCVD TaCcon gli sforzi congiunti del dipartimento di ricerca e sviluppo. È facile che si verifichino difetti nel processo di crescita dei wafer SiC, ma dopo l'usoTaC, la differenza è significativa. Di seguito è riportato un confronto tra wafer con e senza TaC, nonché parti di Simicera per la crescita di cristalli singoli.
con e senza TaC
Dopo aver utilizzato TaC (a destra)
Inoltre, SemiceraProdotti rivestiti in TaCmostrano una durata di servizio più lunga e una maggiore resistenza alle alte temperature rispetto aRivestimenti SiC.Misure di laboratorio hanno dimostrato che il nsRivestimenti TaCpuò funzionare costantemente a temperature fino a 2300 gradi Celsius per periodi prolungati. Di seguito sono riportati alcuni esempi dei nostri campioni:
