Anello guida in grafite rivestita in TaC

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Breve descrizione:

L'anello guida in grafite rivestito in TaC di Semicera Semiconductor è progettato per la crescita dei cristalli di carburo di silicio, fornendo eccezionale resistenza all'usura e stabilità termica. Scegli Semicera per componenti affidabili e performanti.

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Anelli guida in grafite rivestita in TaCsi riferiscono alla deposizione di un sottile strato dicarburo di tantaliosulla superficie di un anello guida in grafite per migliorarne la resistenza all'usura, la resistenza alle alte temperature e la stabilità chimica. Questo rivestimento viene solitamente formato sulla superficie di un anello guida in grafite mediante tecniche quali la deposizione fisica da fase vapore (PVD) o la deposizione chimica da fase vapore (CVD).

Semicera fornisce rivestimenti specializzati in carburo di tantalio (TaC) per vari componenti e supporti.Il processo di rivestimento leader di Semicera consente ai rivestimenti in carburo di tantalio (TaC) di raggiungere elevata purezza, stabilità alle alte temperature ed elevata tolleranza chimica, migliorando la qualità del prodotto dei cristalli SIC/GAN e degli strati EPI (Suscettore TaC rivestito in grafite) e prolungare la vita dei componenti chiave del reattore. L'uso del rivestimento TaC in carburo di tantalio serve a risolvere il problema dei bordi e migliorare la qualità della crescita dei cristalli, e Semicera ha risolto in modo rivoluzionario la tecnologia di rivestimento in carburo di tantalio (CVD), raggiungendo il livello avanzato internazionale.

Dopo anni di sviluppo, Semicera ha conquistato la tecnologia delCVD TaCcon gli sforzi congiunti del dipartimento di ricerca e sviluppo. È facile che si verifichino difetti nel processo di crescita dei wafer SiC, ma dopo l'usoTaC, la differenza è significativa. Di seguito è riportato un confronto tra wafer con e senza TaC, nonché parti di Simicera per la crescita di cristalli singoli.

Le caratteristiche principali degli anelli guida in grafite rivestita in TaC includono:

1. Resistenza alle alte temperature: il rivestimento TaC ha un'eccellente stabilità alle alte temperature e può mantenere la stabilità in ambienti ad alta temperatura.

2. Resistenza all'usura: l'elevata durezza dello strato sottile di carburo di tantalio conferisce all'anello di guida una buona resistenza all'usura e ne prolunga la durata.

3. Stabilità chimica: il rivestimento TaC ha un'elevata stabilità contro la corrosione chimica, rendendolo adatto per applicazioni in alcuni mezzi corrosivi.

4. Ridurre l'attrito: il rivestimento TaC può ridurre efficacemente l'attrito tra l'anello di guida in grafite e altri componenti e migliorare l'efficienza delle tenute meccaniche.

Rivestimento in carburo di tantalio ad alta efficienza_ migliora l'efficienza della produzione industriale e riduce i costi di manutenzione Immagine in evidenza

Parte Tac per la crescita del monocristallo

Rivestimento antiusura in carburo di tantalio_ Protegge l'attrezzatura dall'usura e dalla corrosione Immagine in evidenza

Grafite con anello rivestito in TaC

con e senza TaC

Dopo aver utilizzato TaC (a destra)

Inoltre, SemiceraProdotti rivestiti in TaCmostrano una durata di servizio più lunga e una maggiore resistenza alle alte temperature rispetto aRivestimenti SiC.Misure di laboratorio hanno dimostrato che il nsRivestimenti TaCpuò funzionare costantemente a temperature fino a 2300 gradi Celsius per periodi prolungati. Di seguito sono riportati alcuni esempi dei nostri campioni: