Piastra in grafite con rivestimento in carburo di tantalio

Breve descrizione:

La piastra in grafite con rivestimento in carburo di tantalio di Semicera è progettata per applicazioni ad alte prestazioni nell'epitassia del carburo di silicio e nella crescita dei cristalli. Questa piastra offre stabilità eccezionale in ambienti ad alta temperatura, corrosivi e ad alta pressione. Ideale per l'uso in reattori avanzati e strutture di forni, migliora le prestazioni e la longevità del sistema. Semicera garantisce qualità e affidabilità superiori con una tecnologia di rivestimento all'avanguardia per esigenze ingegneristiche impegnative.

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Foglio di grafite rivestito in carburo di tantalioè un materiale di grafite con un sottile strato dicarburo di tantaliosulla superficie del substrato. Il sottile strato di carburo di tantalio viene solitamente formato sulla superficie del substrato di grafite mediante tecniche quali la deposizione fisica da fase vapore (PVD) o la deposizione chimica da fase vapore (CVD). Questo rivestimento ha proprietà eccellenti come elevata durezza, eccellente resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e stabilità alle alte temperature.

Semicera fornisce rivestimenti specializzati in carburo di tantalio (TaC) per vari componenti e supporti.Il processo di rivestimento leader di Semicera consente ai rivestimenti in carburo di tantalio (TaC) di raggiungere elevata purezza, stabilità alle alte temperature ed elevata tolleranza chimica, migliorando la qualità del prodotto dei cristalli SIC/GAN e degli strati EPI (Suscettore TaC rivestito in grafite) e prolungare la vita dei componenti chiave del reattore. L'uso del rivestimento TaC in carburo di tantalio serve a risolvere il problema dei bordi e migliorare la qualità della crescita dei cristalli, e Semicera ha risolto in modo rivoluzionario la tecnologia di rivestimento in carburo di tantalio (CVD), raggiungendo il livello avanzato internazionale.

Dopo anni di sviluppo, Semicera ha conquistato la tecnologia delCVD TaCcon gli sforzi congiunti del dipartimento di ricerca e sviluppo. È facile che si verifichino difetti nel processo di crescita dei wafer SiC, ma dopo l'usoTaC, la differenza è significativa. Di seguito è riportato un confronto tra wafer con e senza TaC, nonché parti di Simicera per la crescita di cristalli singoli.

I principali vantaggi del foglio di grafite rivestito in carburo di tantalio includono:

1. Resistenza alle alte temperature: il carburo di tantalio ha un elevato punto di fusione e un'eccellente stabilità alle alte temperature, rendendo il foglio di grafite rivestito adatto all'uso in ambienti ad alta temperatura.

2. Resistenza alla corrosione: il rivestimento in carburo di tantalio può resistere all'erosione di molte sostanze chimiche corrosive e prolungare la durata del materiale.

3. Elevata durezza: l'elevata durezza dello strato sottile di carburo di tantalio offre una buona resistenza all'usura ed è adatta per applicazioni che richiedono un'elevata resistenza all'usura.

4. Stabilità chimica: il rivestimento in carburo di tantalio ha un'eccellente stabilità alla corrosione chimica ed è adatto all'uso in alcuni mezzi corrosivi.

Rivestimento in carburo di tantalio ad alta efficienza_ migliora l'efficienza della produzione industriale e riduce i costi di manutenzione Immagine in evidenza

Parte Tac per la crescita del monocristallo

Rivestimento antiusura in carburo di tantalio_ Protegge l'attrezzatura dall'usura e dalla corrosione Immagine in evidenza

Grafite con anello rivestito in TaC

con e senza TaC

Dopo aver utilizzato TaC (a destra)

Inoltre, SemiceraProdotti rivestiti in TaCmostrano una durata di servizio più lunga e una maggiore resistenza alle alte temperature rispetto aRivestimenti SiC.Misure di laboratorio hanno dimostrato che il nsRivestimenti TaCpuò funzionare costantemente a temperature fino a 2300 gradi Celsius per periodi prolungati. Di seguito sono riportati alcuni esempi dei nostri campioni: