Cilindro del reattore epitassiale rivestito in SiC

Breve descrizione:

Semicera offre una gamma completa di suscettori e componenti in grafite progettati per vari reattori epitassia.

Attraverso partnership strategiche con OEM leader del settore, vasta esperienza nei materiali e capacità di produzione avanzate, Semicera offre progetti su misura per soddisfare i requisiti specifici della vostra applicazione.Il nostro impegno per l'eccellenza garantisce che riceviate soluzioni ottimali per le vostre esigenze di reattori epitassia.

 

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Descrizione

La nostra azienda fornisceRivestimento SiCservizi di processo sulla superficie di grafite, ceramica e altri materiali mediante metodo CVD, in modo che gas speciali contenenti carbonio e silicio possano reagire ad alta temperatura per ottenere molecole di Sic di elevata purezza, che possono essere depositate sulla superficie dei materiali rivestiti per formare unStrato protettivo in SiCper epitassia di tipo ipnotico a botte.

 

sì (1)

sì (2)

Caratteristiche principali

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura:
la resistenza all'ossidazione è ancora molto buona anche quando la temperatura arriva fino a 1600 C.
2. Elevata purezza: prodotto mediante deposizione di vapori chimici in condizioni di clorazione ad alta temperatura.
3. Resistenza all'erosione: elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
4. Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC

Proprietà SiC-CVD
Struttura di cristallo Fase β dell'FCC
Densità g/cm³ 3.21
Durezza Durezza Vickers 2500
Granulometria µm 2~10
Purezza chimica % 99.99995
Capacità termica J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura di sublimazione 2700
Forza flessionale MPa (RT 4 punti) 415
Modulo di Young Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃) 430
Dilatazione Termica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conduttività termica (W/mK) 300
Luogo di lavoro Semicera
Luogo di lavoro Semicera 2
Macchina per attrezzature
Lavorazione CNN, pulizia chimica, rivestimento CVD
Nostro servizio

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