Vassoio per cuscinetti in carburo di silicio con incisione LED, vassoio ICP (Etch)

Breve descrizione:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. è un fornitore leader specializzato in wafer e materiali di consumo per semiconduttori avanzati.Ci impegniamo a fornire prodotti di alta qualità, affidabili e innovativi alla produzione di semiconduttori,settore fotovoltaicoe altri campi correlati.

La nostra linea di prodotti comprende prodotti in grafite rivestita SiC/TaC e prodotti ceramici, che comprendono vari materiali come carburo di silicio, nitruro di silicio e ossido di alluminio ecc.

In qualità di fornitore affidabile, comprendiamo l'importanza dei materiali di consumo nel processo di produzione e ci impegniamo a fornire prodotti che soddisfino i più elevati standard di qualità per soddisfare le esigenze dei nostri clienti.

 

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Descrizione del prodotto

La nostra azienda fornisce servizi di processo di rivestimento SiC con metodo CVD sulla superficie di grafite, ceramica e altri materiali, in modo che gas speciali contenenti carbonio e silicio reagiscano ad alta temperatura per ottenere molecole SiC di elevata purezza, molecole depositate sulla superficie dei materiali rivestiti, formando lo strato protettivo SIC.

Caratteristiche principali:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura:

la resistenza all'ossidazione è ancora molto buona anche quando la temperatura arriva fino a 1600 C.

2. Elevata purezza: prodotto mediante deposizione di vapori chimici in condizioni di clorazione ad alta temperatura.

3. Resistenza all'erosione: elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.

4. Resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC

Proprietà SiC-CVD

Struttura cristallina

Fase β dell'FCC

Densità

g/cm³

3.21

Durezza

Durezza Vickers

2500

Granulometria

µm

2~10

Purezza chimica

%

99.99995

Capacità termica

J·kg-1 ·K-1

640

Temperatura di sublimazione

2700

Forza flessionale

MPa (RT 4 punti)

415

Modulo di Young

Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃)

430

Dilatazione Termica (CTE)

10-6K-1

4.5

Conduttività termica

(W/mK)

300


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