Cilindro del reattore epitassiale rivestito in carburo di silicio

Breve descrizione:

Semicera è un'impresa high-tech impegnata da molti anni nella ricerca sui materiali, con un team di ricerca e sviluppo leader e attività di ricerca e sviluppo e produzione integrate. Fornire un cilindro del reattore epitassiale rivestito in carburo di silicio personalizzato per discutere con i nostri esperti tecnici come ottenere le migliori prestazioni e vantaggi di mercato per i vostri prodotti.

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Perché il rivestimento in carburo di silicio?

Nel campo dei semiconduttori, la stabilità di ciascun componente è molto importante per l'intero processo. Tuttavia, in un ambiente ad alta temperatura, la grafite si ossida e si perde facilmente e il rivestimento SiC può fornire una protezione stabile per le parti in grafite. NelSemicerateam, disponiamo delle nostre apparecchiature per il trattamento della purificazione della grafite, in grado di controllare la purezza della grafite inferiore a 5 ppm. La purezza del rivestimento in carburo di silicio è inferiore a 0,5 ppm.

Il nostro vantaggio, perché scegliere Semicera?

✓Alta qualità nel mercato cinese

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✓Piccolo MOQ benvenuto e accettato

✓Servizi personalizzati

attrezzature per la produzione del quarzo 4

Applicazione

Suscettore della crescita epitassia

I wafer di silicio/carburo di silicio devono passare attraverso molteplici processi per essere utilizzati nei dispositivi elettronici. Un processo importante è l'epitassia silicio/sic, in cui i wafer silicio/sic sono supportati su una base di grafite. I vantaggi speciali della base in grafite rivestita in carburo di silicio di Semicera includono purezza estremamente elevata, rivestimento uniforme e durata estremamente lunga. Hanno anche un'elevata resistenza chimica e stabilità termica.

Suscettore epitassia di silicio

Suscettore epitassia al carburo di silicio

Produzione di chip LED

Durante il rivestimento estensivo del reattore MOCVD, la base planetaria o supporto sposta il wafer del substrato. Le prestazioni del materiale di base hanno una grande influenza sulla qualità del rivestimento, che a sua volta influisce sul tasso di scarto del truciolo. La base rivestita in carburo di silicio di Semicera aumenta l'efficienza produttiva dei wafer LED di alta qualità e riduce al minimo la deviazione della lunghezza d'onda. Forniamo anche componenti aggiuntivi in grafite per tutti i reattori MOCVD attualmente in uso. Possiamo rivestire quasi tutti i componenti con un rivestimento in carburo di silicio, anche se il diametro del componente è fino a 1,5 M, possiamo comunque rivestire con carburo di silicio.

Suscettore epitassia LED

Campo dei semiconduttori, processo di diffusione dell'ossidazione, ecc.

Nel processo dei semiconduttori, il processo di espansione dell'ossidazione richiede un'elevata purezza del prodotto e presso Semicera offriamo servizi di rivestimento CVD e personalizzati per la maggior parte delle parti in carburo di silicio.

L'immagine seguente mostra l'impasto grezzo di carburo di silicio di Semicea e il tubo del forno di carburo di silicio che viene pulito nel 1000-livelloprivo di polverecamera. I nostri operai lavorano prima del rivestimento. La purezza del nostro carburo di silicio può raggiungere il 99,99% e la purezza del rivestimento sic è superiore al 99,99995%.