Suscettore in grafite con rivestimento in carburo di silicio, vassoio a barile

Breve descrizione:

Semicera offre una gamma completa di suscettori e componenti in grafite progettati per vari reattori epitassia.

Attraverso partnership strategiche con OEM leader del settore, vasta esperienza nei materiali e capacità di produzione avanzate, Semicera offre progetti su misura per soddisfare i requisiti specifici della vostra applicazione.Il nostro impegno per l'eccellenza garantisce che riceviate soluzioni ottimali per le vostre esigenze di reattori epitassia.

 

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Descrizione

La nostra azienda fornisce servizi di processo di rivestimento SiC con metodo CVD sulla superficie di grafite, ceramica e altri materiali, in modo che gas speciali contenenti carbonio e silicio reagiscano ad alta temperatura per ottenere molecole SiC di elevata purezza, molecole depositate sulla superficie dei materiali rivestiti, formando lo strato protettivo SIC.

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Caratteristiche principali

1. Grafite rivestita in SiC ad alta purezza

2. Resistenza al calore e uniformità termica superiori

3. Rivestimento in cristallo SiC fine per una superficie liscia

4. Elevata resistenza alla pulizia chimica

Specifiche principali del rivestimento CVD-SIC

Proprietà SiC-CVD
Struttura di cristallo Fase β dell'FCC
Densità g/cm³ 3.21
Durezza Durezza Vickers 2500
Granulometria µm 2~10
Purezza chimica % 99.99995
Capacità termica J·kg-1 ·K-1 640
Temperatura di sublimazione 2700
Forza flessionale MPa (RT 4 punti) 415
Modulo di Young Gpa (curvatura 4 punti, 1300 ℃) 430
Dilatazione Termica (CTE) 10-6K-1 4.5
Conduttività termica (W/mK) 300
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Luogo di lavoro Semicera
Luogo di lavoro Semicera 2
Macchina per attrezzature
Lavorazione CNN, pulizia chimica, rivestimento CVD
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