Wafer SOI

Breve descrizione:

Il wafer SOI è una struttura a sandwich con tre strati; Compreso lo strato superiore (strato del dispositivo), la parte centrale dello strato di ossigeno sepolto (per lo strato isolante di SiO2) e il substrato inferiore (silicio sfuso). I wafer SOI sono prodotti utilizzando il metodo SIMOX e la tecnologia di incollaggio dei wafer, che consente strati del dispositivo più sottili e più accurati, spessore uniforme e bassa densità di difetti.


Dettagli del prodotto

Tag dei prodotti

Wafer SOI(1)

Campo di applicazione

1. Circuito integrato ad alta velocità

2. Dispositivi a microonde

3. Circuito integrato ad alta temperatura

4. Dispositivi di alimentazione

5. Circuito integrato a basso consumo

6. MEMS

7. Circuito integrato a bassa tensione

Articolo

Discussione

Complessivamente

Diametro del wafer
lunghezza d'onda (mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

Arco/Deformazione
翘曲度(

<10um

Particelle
颗粒度(

0,3um<30 cad

Piatti/tacca
定位边/定位槽

Piatto o Notch

Esclusione dei bordi
Lunghezza (mm)

/

Livello dispositivo
器件层

Tipo/drogante del livello del dispositivo
器件层掺杂类型

Tipo N/Tipo P
B/ P/ Sb / As

Orientamento a livello di dispositivo
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Spessore dello strato del dispositivo
器件层厚度(um)

0,1~300um

Resistività dello strato del dispositivo
器件层电阻率(ohm•cm)

0,001~100.000 ohm-cm

Particelle dello strato del dispositivo
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

TTV livello dispositivo
器件层TTV(

<10um

Finitura livello dispositivo
器件层表面处理

Lucido

SCATOLA

Spessore dell'ossido termico sepolto
埋氧层厚度(um)

50nm(500Å)~15um

Gestire il livello
衬底

Maniglia tipo wafer/drogante
衬底层类型

Tipo N/Tipo P
B/ P/ Sb / As

Gestire l'orientamento del wafer
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Gestire la resistività del wafer
衬底电阻率(ohm•cm)

0,001~100.000 ohm-cm

Gestire lo spessore del wafer
衬底厚度(um)

>100um

Maniglia Finitura Wafer
衬底表面处理

Lucido

I wafer SOI con specifiche target possono essere personalizzati in base alle esigenze del cliente.

Luogo di lavoro Semicera Luogo di lavoro Semicera 2

Macchina per attrezzatureLavorazione CNN, pulizia chimica, rivestimento CVD

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